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zPictures/Product_224.jpg   AirGlide™高精度空气轴承直线电机往复平台

AirGlide高精度空气轴承直线电机往复平台为超平滑空气轴承PhotonBeamTM高级光纤定位系统,采用DPS独特的 clog-free 空气轴承技术,可以实现极其精确的速度控制,适合晶片扫描、晶片检查、薄膜厚度测量、CD测量、存储器维修、显微镜扫描探测、光纤布拉格写入等应用。

  • Bragg(布拉格)光纤光栅系统。
  • 不加激光干涉仪反馈分辨率可达31 皮米(picometers)。
  • 定位跟踪精度达5纳米(nanometers)。
  • 极小的低速波动,扫描应用的理想选择。
  • 高精度空气轴承 。
  • 极好的抗偏摆和滚摆刚度,提供良好的稳定性。
  • ±0.5µm的平面度和直线度。

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