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zPictures/Product_352.jpg   ABL3600 空气轴承直线电机平台

Aerotech ABL3600 Air Bearing Stage
ABL3600 双轴,大孔径,开放式框架,空气轴承平台很好的满足了显微镜方法扫描和集成电路模板以及晶片检查的独特性需求。

行程:≤250 mm
定位精度:±1 µm
重复定位精度:±0.2 µm
直线度:±0.5 µm
平面度:±1 µm

 

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